近日，又有兩個碳化硅相關項目披露了最新進展，分別為瑞福芯科技車規級SiC半導體功率模塊產業化項目和納設智能南通新生產基地項目，兩個項目總投資超10億元。
車規級SiC半導體功率模塊產業化項目簽約
8月13日，據瑞福芯科技官微消息，瑞福芯科技總經理周旭光與協同創新基金管理有限公司董事長李萬壽及總經理丘煒雄、中科院先進研究院中科中孵總經理涂樂平、桉森芯（上海）微電子有限公司董事長陳建璋于8月9日組成項目調研團，一起就瑞福芯科技“車規級SiC半導體功率模塊產業化項目”落地江蘇東臺高新區進行投資實地考察。
source：瑞福芯科技
考察后，瑞福芯科技與江蘇東臺高新區簽定了《車規級SiC半導體功率模塊產業化項目戰略合作框架協議》。瑞福芯科技擬落地江蘇東臺高新區，投資10-15億元建設第二研發中心和產業化生產基地，首期啟動資金投入1億元。
資料顯示，瑞福芯科技成立于2022年10月，注冊資本1000萬人民幣，經營范圍含半導體分立器件制造、半導體分立器件銷售、電子元器件制造、電力電子元器件制造等。
碳化硅業務進展方面，瑞福芯科技在去年2月與愛仕特簽署戰略合作協議，共同推動SiC功率模塊在新能源汽車領域的應用。
據悉，瑞福芯科技已建立預計年產30萬只的模塊工廠，主要產品為車用SiC MOS功率模塊?；陔p方簽署的戰略合作協議，在未來數年內瑞福芯科技生產的SiC MOS模塊將全部采用愛仕特的SiC MOS芯片，愛仕特將為瑞福芯科技批量供應車用功率模塊所需的1200V/17mΩ及1700V/17mΩ的SiC MOS芯片，并協助瑞福芯科技建設模塊工廠，保證其后續的量產需求。
納設智能南通新生產基地環評獲批
8月5日，據南通高新區消息，納設智能位于南通市南通高新技術產業開發區雙福路126號半導體光電產業園N2棟1F、4F的廠房近日獲得環評審批。
環評信息顯示，該項目總投資6000萬元，通過購置超聲波清洗機、電加熱烤箱、光學裝配平臺、氦檢儀、CV測試儀等生產設備進行CVD外延設備生產，項目建成后，預計形成年產R02型號CVD外延設備230臺、R04型號CVD外延設備220臺的生產能力。
在碳化硅外延設備細分領域，納設智能6英寸碳化硅外延設備在2023年已批量出貨給多家外延客戶，也獲得了批量驗收，業績相較于2022年增長了10倍。
在6英寸碳化硅外延設備出貨基礎上，納設智能研發并交付了8英寸碳化硅外延設備，其具備獨特的反應腔室設計、可獨立控制的多區進氣方式等特點，將更好的提高外延片的均勻性，降低外延缺陷及生產中的耗材成本。目前，該設備已銷售給多個客戶。
在碳化硅襯底細分領域，納設智能自主研發的首臺原子層沉積設備在完成所有生產和測試流程后，于今年1月順利出貨。原子層沉積（Atomic Layer Deposition，簡稱ALD）是一種薄膜沉積技術，可歸于化學氣相沉積大類。相對于一般化學氣相沉積，其具有獨特的表面自限制化學效應，因而可以逐個原子層生長各種化合物或單質薄膜材料，實現更精確的厚度控制，可用于各類襯底材料的薄膜沉積。（集邦化合物半導體Zac整理）
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